中古 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #293630184 を販売中

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIIS 80HPイオンインプランター&モニターは、ドーパントおよびその他のイオン注入プロセスを正確に制御するための先進的なデバイスです。高出力・高精度を両立できるコンパクトな装置です。システムは、高電圧電源、イオン源、ビーム解析・制御装置、温度制御装置、遮蔽装置、イオンビームモニターで構成されています。電源の最大電圧は1,000kVで、最大80kWのインプラント電力を供給します。また、高周波プリバイアス機能を備えており、埋め込まれた領域の均一性を向上させます。この電源には、プロセスの不規則性を検出するために使用できる自動診断機能も含まれています。イオン源は、制御された高度にローカライズされたプラズマを提供し、最大25mA/cm2までのビーム電流密度を生成するために使用できます。ビーム解析と制御ツールは、必要な粒子だけが埋め込まれるように、洗練された粒子光学を利用しています。温度制御アセットは、埋め込みプロセスに最適な温度条件を維持することができます。また、サーマルイメージングカメラモデルも含まれており、着床時のソース温度の監視が可能です。シールド装置は、高度な材料とシールド設計で構成されており、放射線から優れた保護を提供し、残留放射線の無害なレベルだけがインターロックシステムに到達できるようにします。イオンビームモニターは、電流、エネルギー、位置などのビームパラメータを継続的に測定し、インプラントの望ましくない不均一性を低減するためにビームを調整するフィードバックを提供します。全体として、AMAT VIISta 80HPイオンインプランター&モニターは、イオン注入プロセスを正確に制御できるように設計された高性能ユニットです。半導体製造におけるインプラント工程のための信頼性と汎用性の高いデバイスであり、幅広いビーム電流と電源設定、および包括的な安全機能を提供します。