中古 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80 #9243147 を販売中

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80は、半導体製造プロセス向けに設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。その高度な機能により、ユーザーはイオンビームエネルギー、角度、および電流密度を正確に制御できます。これにより、製造工程で使用される基材を高精度にドーピングすることができます。AMAT VIISta 80は、4軸スキャンシステムを備えており、イオンビームを基材に迅速かつ正確にアライメントします。また、バッチ処理、マルチパス処理、カスタムインプランティングなど、いくつかの異なるユーザー選択可能な操作モードも提供しています。さらに、イオンビームは、アプリケーションの特定のニーズを満たすためにカスタマイズすることができます。VARIAN VIISta 80は、さまざまな監視機能も備えています。ビーム電流モニター、インプラント電流モニター、温度および圧力センサー、およびインプラント深度を視覚化するためのX線モニターが含まれています。また、ウェーハ表面全体のインプラント深度の均一性を監視します。APPLIED MATERIALTS VIISta 80の中間質量フィルタ（IMF）は、移植されたイオンビームの正確なフィルタリングを提供します。微量原子や重粒子などの不要なイオン種を排除し、目的の種だけが基質に埋め込まれるようにします。これにより、インプラントの損傷を最小限に抑え、高品質のドーピングレベルをもたらします。VIISta 80のソフトウェアは、プロセス条件の最適化を可能にします。これは、最適化された基板のためのガス圧力や電圧などのさまざまなパラメータを制御するために使用することができます。また、最適な処理条件のためのレシピの作成と保存にも使用できます。さらに、VIIStaソフトウェアインターフェイスにより、詳細なシステムパフォーマンスレポートを簡単に生成できます。要するに、VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALTS VIISta 80は、半導体製造プロセスに最適化された高度なイオンインプラントおよびモニタです。その4軸スキャン機能、ユーザーが選択可能な操作モード、監視機能、中間マスフィルタ、および最適化されたソフトウェアにより、製造プロセスで使用される基板材料の精密ドーピングのための強力なツールとなります。