中古 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80 #9227311 を販売中

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80シリーズのイオンインプラントおよびモニターは、イオン注入アプリケーション用に設計された先進的な機器です。AMAT VIISta 80は、高エネルギービームのイオンを提供する4 タンクWソースで、さまざまなインプラント工程に適しています。システムは、マスフィルターアセンブリ、フィルタリングソース、ビーム搬送ユニットで構成されています。マスフィルターアセンブリは、垂直方向の円筒形反応チャンバーと、粒子光学、真空、電気絶縁用のさまざまなコンポーネントで構成されています。フィルタリングソースはビームの質量選択を行い、ビーム搬送機はバックグラウンドイオンを効果的に破壊して閉じ込めます。VARIAN VIISta 80の高出力能力により、半導体デバイスの埋め込みに最適です。最大25 keVまでの最大線量率または1〜3 keVまでの個々のイオンエネルギーを動作させることができます。このツールはまた、タッチスクリーンインターフェイスとセットアップメニューでユーザーフレンドリーに設計されています。応用材料VIISta 80には、イオン注入プロセスを監視および制御するためのいくつかの機能が含まれています。この資産には、ユーザーがビームの正確な位置、方向、およびエネルギーを監視できる高速ビーム取得モニターが含まれています。このモデルには、圧力監視および制御コンポーネント、ならびに最適な着床条件を確保するための温度および湿度監視システムも含まれています。さらに、VIISta 80には、接地シールドやイオンソースアースモニターなど、安全性とコンプライアンスを支援するいくつかの機能が含まれています。また、ビーム位置テレメトリーヘッド、部品傾斜モニター、回転モニターなど、インプラント工程の高精度内部分析のためのさまざまな追加コンポーネントも付属しています。全体として、VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80は、さまざまなインプラント処理ニーズに優れた性能を提供するように設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。オペレータにさまざまな機能とモニターを提供し、安全性とコンプライアンス機能を強化します。AMAT VIISta 80シリーズは、高いパワー、精度、柔軟性により、イオンインプラント用途に最適なソリューションです。