中古 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS E11072881 #293656610 を販売中

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS E11072881イオンインプランターおよびモニターは、集積回路やその他の電子機器のドーピング用に設計された高性能機器です。超高バイアスと低エネルギーインプラント機能を備えており、ドーピングの深さと濃度を正確に制御できます。このシステムは、ジフルオロベンゼン（DFB）電子爆撃イオン源をベースにしており、イオンビームの均一性と安定性が高く、清浄な動作を保証するために高真空室に収容されています。ソースは約10〜4 Torrの圧力で動作し、エネルギー範囲は3〜50 keVです。このユニットの制御エレクトロニクスは、ビーム電流、ビーム電圧、ビームの直径、ビーム電流の制御、エネルギー範囲、スキャンタイム、ビームフォーカスなどの自動注入とプロセスパラメータを備えた、使いやすいメニュー駆動インターフェースを備えています。この機械には、放射線検出器、放射光学チャンバー、資産の動作を監視するためのアラームツールなどの一連の安全対策も含まれています。イオン注入器は、中電流と高電流の両方の注入に使用できます。ユニークなデュアル粒子加速器設計を採用しており、さまざまな移植プロセスのニーズに適応することができます。加速器チャンバーは、事前にプログラムされたパラメータを迅速かつ正確に埋め込むことができ、高い埋め込み速度を提供する可変座標イオン伝達モデルを備えています。イオン注入モニター装置は、着床の結果を確実にするために、着床プロセスの開始から終了までの結果を自動的に監視することができます。モニターシステムは、注入プロセスのエネルギー、電流、およびその他のパラメータを測定する一連のチャンバー検出器で構成されています。AMAT E11072881ユニットは、電子機器を埋め込むための信頼性と操作が容易な機械です。集積回路の高速かつ正確なドーピングプロセスに適しており、埋め込みパラメータの自動制御機能を備えています。このツールは、放射線検出器や放射光学チャンバーなどの安全機能を備えており、使いやすいメニュー駆動のインターフェースを備えています。アセットには、一貫した着床結果を確保するための強化されたモニタリングモデルと、着床プロセスのエネルギーと電流を測定する一連のチャンバー検出器も含まれています。