中古 VARIAN AAS 30 #293672532 を販売中

VARIAN AAS 30はイオン注入プロセスに使用されるイオン注入器およびモニターです。製薬、医療、航空宇宙/防衛などの困難な半導体技術を扱うために設計された高精度で信頼性の高いツールです。最大800mAの高いイオン電流範囲を持つ精密なビーム制御、45度までの広範囲の埋め込み角度など、優れた性能を提供します。これにより、あらゆるプロセスで最適なイオン材料の深さと分布が達成されます。AAS 30は、可変磁場技術（VMF）を使用して、高度なイオン注入能力を提供します。最大30インチのターゲット距離、大きなビーム定義の開口径、細かく調整可能なビーム発散のソースを備えています。回転スイープコントロールにより、ビームドリフト補正も素早く行うことができます。また、動的ビームエミッタンス制御のための高速応答熱電コイルを搭載し、着床プロセス中の安定したビーム特性を確保します。VARIAN AAS 30はまた、徹底的なプロセス制御のための優れたエンドポイント監視機能を提供します。例えば、統合されたエネルギーモニタは、インプラントがビーム電圧が低い場合でも、チャンバー内の電子電流を連続的に読み出します。さらに、温度制御されたサーマルセンサーにより、温度環境を改善するためのチャンバー温度を正確に測定できます。イオンビームモニターはまた、ビーム電流が安全なインプラント実行のために指定された制限内にとどまることを保証します。このマシンはまた、ソースの便利な操作のためのユーザーフレンドリーなソフトウェアパッケージを提供しています。グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は、明確なプロンプトと幅広いコントロールを提供し、インプランターの操作とカスタマイズを容易にします。このパッケージはまた、ユーザーが仮想環境で本番実行を実行できる強力なシミュレーションプログラムを提供します。要するに、AAS 30は高度で信頼性が高く、高精度なイオンインプラントおよびモニターであり、高度なアプリケーションに適しています。これは、埋め込みプロジェクトのための信頼性の高い正確な制御システムを探している人のための優れた選択肢です。