中古 VARIAN 8010 #9068893 を販売中

VARIAN 8010は、半導体やその他のハイテク機器の製造に使用される高エネルギーイオンの正確な用量を提供するように設計されたイオンインプラントおよびモニターです。半導体ウェーハなどの基材にイオンを注入し、導電層の望ましいパターンを作り出します。8010は注入されるイオンの適量を正確に制御するので、製造のための重要な用具です。VARIAN 8010には、イオン源と2つの精密イオン注入システムが含まれています。イオン源は、基板に汚染物質を埋め込むために使用される高エネルギーイオンを提供します。2つの注入システムには、加速器と減速器があり、基板材料に到達する前と後のイオンの速度を制御します。加速器はイオンを高速に高速化し、減速器は材料に到達する前にイオンを減速させます。8010のモニターは正しい、所定の線量が基質に渡されることを保障するように設計されています。さまざまなセンサーと検出器を使用して、配信されるイオンの量を測定します。また、このモニターは、電源電圧、プロセス電流、基板への露出線量など、着床プロセスの現在の状況に関する情報も提供します。この情報は、提供された線量が基質に正確かつ適切であることをオペレータが保証するのに役立ちます。VARIAN 8010には、イオン注入に関連する潜在的な危険から基板材料とオペレータの両方を保護するように設計されたさまざまな安全機能も含まれています。これらの機能には、放射、過電圧、過熱、過圧に対する保護が含まれます。このシステムには、アラームや自動シャットオフなどの多くの診断ツールも含まれており、危険になる前に着床プロセスに関連する潜在的な問題を検出します。8010は高精度イオン注入器であり、さまざまなハイテク機器製造プロセスで使用される高エネルギーイオンを安全かつ正確に供給するように設計されています。イオン源、注入システム、モニタリングツールの組み合わせを使用して、基板に供給されるイオンの線量を信頼性の高い制御を提供します。このシステムには、基板とオペレータの両方の安全性を確保するためのさまざまな安全機能も含まれています。