中古 VARIAN 70827001 #9074271 を販売中

ID: 9074271
Uniformity monitor.
VARIAN 70827001はイオン注入器およびモニターで、主に半導体および集積回路の製造で使用されます。インプランターは、半導体材料に埋め込まれたイオンの量を正確に制御することができます。これにより、デバイスまたは材料に必要な特性が作成されます。70827001は、イオン源を加熱してドーパントを蒸発させるアッシャーインプランターです。これは、電極、フィルタ、排気によって形成された特定の経路を介して送信される蒸気ストリームを形成します。この流れによって形成された電子にさらされると、ドーパントはイオン化される。加速されたイオンは半導体材料に向けられます。VARIAN 70827001はインプラント用量の点で比類のない精度を提供するように設計されています。それは単一のプロセスの材料そして複数の材料の広い範囲を埋め込むのに使用することができます。そのコンピュータ化された操作は、手動と自動化された操作の両方を可能にします。注入プロセスに加えて、70827001はインプラント・モニターも備えています。これにより、投与が正確であり、プロセスのあらゆるバリエーションをすぐに調整できるようになります。モニターは、電流、電圧、温度、圧力レベルなど、プロセス全体のデータをチェックして記録します。VARIAN 70827001は信頼性と洗練されたイオンインプランターとモニターです。最小限のメンテナンスが必要で、インプラント用量に優れた精度を提供します。さまざまな材料をインプラントし、異なる材料を1つのプロセスで組み合わせても、幅広い用途に適しています。半導体および集積回路処理のための効率的かつ正確なツールであり、エンジニアリングおよび生産設備にとって非常に貴重な資産です。
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