中古 VARIAN 70827001 #149058 を販売中

ID: 149058
Uniformity monitor for VARIAN 300/350.
VARIAN 70827001は、多種多様な半導体製造環境での使用に適したイオンインプラントおよびモニターです。低エネルギーイオンビーム技術を使用して、半導体にイオンを埋め込み、その後注入された線量プロファイルを測定して、結果が所望の仕様に沿っていることを確認します。70827001は、高精度でユーザーフレンドリーで信頼性の高い機械で、高品質の部品の信頼性と持続可能な歩留まりを作り出すために使用できます。VARIAN 70827001は、RFベースのRFイオンソース駆動電源を搭載し、幅広いアプリケーションでの制御と性能を向上させます。このRFベースのイオン源ドライブ電源は、非常に安定した高イオン電流を提供し、ゼロから50キロボルトまでの合計HV範囲で動作することができます。さらに、70827001は、冷却されたフィラメントを備えているため、オペレータはフィラメントの電流出力を調整することができ、したがって、イオン化ガスの量を生成することができます。VARIAN 70827001のイオンモニターは、インプラントのプロセスを記録し、ユーザーがインプラントの品質を評価するのを支援します。この機械は、注入後の層と表面積を分析するためにも使用でき、用量とエネルギーの均一性、およびエネルギー深度プロファイルを正確に測定するための包括的なパッケージを提供します。70827001は、可能な限り最高のパフォーマンスを確保するために追加の機能とコンポーネントのホストを提供しています。これは、時間の経過とともにイオンビームモニターからのデータを格納するように設計されたアナログマルチチャンネルアナライザを備えています。その後、照射された線量プロファイルと現在の均一性を計算するためにデータを使用することができます。さらに、VARIAN 70827001は2つのクローズドループ制御システムを提供し、精度と再現性を向上させます。これにより、インプラントのプロファイルが時間とともに非常に一定であることが保証され、ユーザーは結果が一貫していることが保証されます。最後に、70827001は非常にユーザーフレンドリーで直感的で、自動化されたセルフチューニングプロセスと、オペレータがメニューと設定にアクセスできるグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。これにより、マシンの最大限の信頼性と正しい機能が保証されます。要約すると、VARIAN 70827001は、信頼性の高いイオン注入器とその半導体製造環境のモニターを必要とするすべての人にとって、優れた信頼性の高い選択肢です。
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