中古 VARIAN 5394001 #9260504 を販売中

VARIAN 5394001は、集積回路の高度な製造に使用するために設計された高性能イオンインプラントおよびモニタです。このデバイスには、20チャネルのデジタルI/Oコントローラなどの高度な制御とモニタが組み込まれており、インプラント電流、電圧、エネルギーを正確かつ予測可能に制御できます。この装置はまた、イオン注入プロセス中にチャンバー内のインプラントのガス圧力の分布を監視および測定するように設計されています。5394001は、市場でのパフォーマンスを最適化するための多くの機能を統合しています。これには、ソースレス型カソード、マルチカセットイオン源、イオンビームゲート、スキャンプラットフォーム、多軸スキャナなど、一連の個々のプロセス部品が含まれます。さらに、システムは、さまざまな強化ステアリング機能のイオン種を切り替えるように構成することができます。高精度のXYZステージは6インチの操作性を備えており、マルチロケーションのウェーハインプラントに優れた安定性を提供します。VARIAN 5394001のその他の機能には、一貫した予測可能なインプラント処理結果を保証する自動調整技術が含まれます。このユニットには、チャンバーガス分析機、チャンバーパフォーマンスモニター、トレーニングおよびオペレータ管理ツールなどの高度な診断ツールも組み込まれています。5394001は統合されたソフトウェアおよびハードウェアとのクラス最高の監視を提供します。その自動調整技術と洗練された制御プラットフォームは、ユーザーにインプラント作業の優れた制御と優れたインプラント結果を提供するのに役立ちます。また、温度安定性、均一性、再現性の点で優れた性能を提供するように設計されています。VARIAN 5394001は、高度な集積回路の製造に最適な信頼性と堅牢性の高いモデルです。このイオン注入器およびモニターは優秀な監視機能とともに優秀な性能および精密を提供します。高度な制御とモニター、自動調整と診断機能により、イオン注入に最適なパフォーマンスを提供します。