中古 VARIAN 350XP #293600209 を販売中
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VARIAN 350XPは、半導体加工アプリケーションで使用するために設計されたイオンインプラントおよびモニターです。このシステムは、事前放射チャンバーと真空タイトインプランターヘッド、ならびに制御およびデータ収集用のデジタル信号プロセッサで構成されています。事前放射チャンバモジュールには、メインイオン源、積分質量分離器、および所望のビーム特性を生成および監視するための内部座標コンピュータが収容されています。この部分はインプランター室から分離されており、連続してパラメータを再確立することなく、迅速な着床が可能です。インプランタモジュールは、単軸ガントリー、真空タイトゲートバルブ、集積質量分析計を備えたチャンバーで構成されています。この設計により、可変ドウェル時間とガントリーに沿った可変位置が可能になります。インプランター源は低温動作範囲があり、プルトニウムやアルミニウムなどの重いイオンを含むすべてのタイプのイオンをインプラントするために使用することができます。内部シールドにより、逆散乱を最小限に抑え、サンプル汚染を低減します。統合された監視制御システムは、デジタル信号プロセッサ（DSP）を使用して正確な埋め込みを容易にし、必要なパラメータを確実に維持します。これにより、ビーム形状と質量の自動調整が可能になり、チャンバー圧力などのプロセス条件を監視できます。350XPは、精度や品質を損なうことなく、サンプル位置の迅速で信頼性の高い正確な追跡を可能にするように設計されています。数十分の1のkeVから数メガ電子ボルトまで、あらゆるエネルギーのイオンを埋め込むために使用でき、半導体ウェーハやナノワイヤなど幅広い材料での使用に適しています。このシステムは非常に直感的でユーザーフレンドリーで、半導体加工業界の人々に最適です。
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