中古 VARIAN 350DE #9104473 を販売中

VARIAN 350DEは、半導体チップにおける電子回路の製造に使用するために設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。イオンを非常に精密なレベルで埋め込むことができ、様々なイオンエネルギーと用量の提供が可能です。これは、ユーザーが埋め込み手順の全体のプロセスを監視することができます高度な電気計器とモニター機器を備えています。また、ユーザーの安全を確保し、偶発的な粒子暴露を防ぐ一連の安全インターロックを備えています。350DEインプランターは、一連の高電圧イオン化グリッドを使用して、イオンの安定したビームを生成します。このビームは、加速電圧を持つタイトビームに集中します。焦点を当てたビームは、正確な埋め込みを保証するために、特定の開口部サイズと形状の一連の開口部を通過します。均一な線量配達を保障するためには、各イオン化の格子の電圧は均一なビームを提供するために調節可能です。VARIAN 350DEの統合されたエレクトロメーターとモニターシステムにより、注入手順全体をリアルタイムで監視できます。プロセス中のさまざまな時点での電圧、電流、温度、ビーム強度の詳細なログを提供します。このユニットはまた、各ウェーハに埋め込まれた粒子の数と納入された総量を監視します。これにより、ユーザーは最適なパフォーマンスを得るためにパラメータ設定を微調整できます。インプランター350DE、ユーザー保護のための一連の安全インターロックも備えています。これらのインターロックは、電源サージが発生した場合にユニットをシャットダウンし、マシンをパワーダウンします。ユニットはまた、すぐにユニットを停止し、ツールをパワーダウン緊急オフスイッチを備えています。また、故障時に危険物を安全に排出するための非常用排気換気アセットを装備しています。VARIAN 350DEは、高精度で信頼性の高いイオンインプラントとモニターです。その高度な機能と安全インターロックは、埋め込みプロセスが効率的かつ安全に行われることを保証します。統合されたエレクトロメーターとモニターモデルは、プロセス全体にわたって詳細なフィードバックを提供し、ユーザーは設定を微調整して最適なパフォーマンスを得ることができます。