中古 VARIAN 350D #9409512 を販売中

VARIAN 350D Ion Implanter and Monitor装置は、半導体装置メーカーVARIAN、 Inc。が開発した高性能イオン注入システムです。このデバイスは、イオンを材料に埋め込むことで物理的および電気的特性を変化させることができるように設計されています。ビーム抽出、質量選択、エネルギーフィルタリング機構の組み合わせを使用して、ターゲット材料に正確にイオンを注入します。VARIAN 350 Dは完全自動化されたユニットで、高精度のデジタル制御技術を使用して、一貫したイオン注入性能を保証します。ソース、バイアス、ビームライン、ターゲットの4つの基本コンポーネントがあります。イオンソースは、ビームラインコンポーネントによって指示される所望のイオンビームを作成する責任があります。バイアス成分は静電場を用いてイオンビームの軌道を変化させ、対象物質はイオンが埋め込まれている物質です。350Dには高度な安全機能と診断システムが含まれており、ユーザーは着床パラメータをリアルタイムで監視できます。機械はまた自己口径測定および性能の確認が可能で、インプラントの質が一貫して完全であることを保障します。また、各種イオンインジェクタやビームモニターを搭載し、特殊かつ高精度な要求に対応することができます。注入プロセスはVARIANが開発した制御ソフトウェアによって制御され、ユーザーは必要に応じて注入パラメータを監視および調整することができます。さらに、350 Dは0。1mmから300mmまでの多様なウエハサイズに対応できるため、幅広い用途に適しています。また、様々なイオン種やビーム電流を20mAまで処理することができ、ユーザーはイオンをターゲット材料に安全に埋め込むことができます。VARIAN 350Dは信頼性が高く効率的であり、生産性への影響を最小限に抑えながら優れた着床結果を提供します。その複数の安全メカニズムは、デバイスが安全に動作することを保証し、その診断機能は、ユーザーにインプラントのパフォーマンスに関する包括的なフィードバックを提供します。その柔軟性と精度により、イオン注入に理想的な選択肢となり、その可変電源源は、信頼性の高い制御が可能な幅広いビーム電流を提供します。