中古 VARIAN 350D #9229054 を販売中

VARIAN 350Dは、超精密で正確な半導体ウェーハの埋め込みと監視のために設計された信頼性の高い高性能イオンインプラントおよびモニターです。VARIAN 350 Dは、均一なスポット分布と卓越した精度を誇り、集積回路製造、薄膜成膜、メモリデバイス製造、ドーピングアプリケーションなど、幅広い用途に適した高度なインプラント・システムです。350Dは高速電子銃、2つの質量分析器、および正確で正確な埋め込みのためのデジタル信号処理を特色にします。電子銃は最大15mAのビーム電流で最大10keVの電子を生成することができ、質量分析器は質量電荷比に基づいてイオンを正確に分離することができます。デジタル信号処理アルゴリズムは、ビームパラメータのリアルタイム解析と最適化に使用され、埋め込み効率と精度を確保します。350 Dにはさまざまなハードウェアとソフトウェア機能が搭載されており、イオン注入プロセスを効果的かつ効率的に実装できます。ビーム露光時間を制御するビームシャッター、注入時間を正確にプログラミングするためのミリ秒遅延ジェネレータ、さまざまなパラメータを簡単に監視および調整するための画面上のグラフィカルインタフェースが含まれます。さらに、VARIAN 350Dには、安全のためのロック可能なドア、過度の電流損傷を防ぐための高度な電流リミッターなど、幅広い安全性とセキュリティ機能が搭載されています。VARIAN 350 Dには、8 MeVまで選択可能な幅広いエネルギー選択肢があり、幅広いドーパントを埋め込むことができます。全体として、350Dは優れたパフォーマンスと信頼性の高い埋め込みおよびモニタリングソリューションを提供し、一貫して正確かつ正確な結果を保証します。半導体業界における多種多様なイオン注入プロセスに最適です。