中古 VARIAN 350D #293740209 を販売中

VARIAN 350D
ID: 293740209
ウェーハサイズ: 6"
Ion implanter, 6".
VARIAN 350Dは、複数のアプリケーションで使用するための高性能イオン注入および監視装置です。このパワーハウスは、標準プロトコルでは最大150 keVのビーム電流、重いドーピングプロジェクトでは拡張プロトコルでは最大350 keVのビーム電流を供給することができます。人間工学に基づいたチャンバー設計により、オペレータの疲労を軽減し、高速チューニングレーザーマークチャンバーは動的またはパラメータベースの処理に最適です。VARIAN 350 Dは、独自のビームオンターゲット容量電流モニタを提供し、優れた低ドリフト特性で比類のない精度と精度を提供します。これは、クリーンで再現性のある結果で高品質のインプラントを確保するのに役立ちます。また、デジタルアライメントユニットを備えているため、アライメントプロセスが簡素化され、複雑な調整やアライメントターゲットが不要になります。チャンバー設計により、高精度かつ高精度なビームセンタリングが可能になり、高精度で再現性が確保されます。また、工具制御ユニット、イオンガンコントロールユニット、リニアステッピングモータ、光学符号化された精密制御、ビームリミッター、レーザーマークチャンバーなど、幅広いオプションのアクセサリを提供しています。これにより、ユーザーはニーズに最も適したアセットをカスタマイズできます。自動ターゲティング、スポット溶接、スキャンサンプリングなどの特殊機能により、正確なプロセス制御が可能です。このモデルはまた、最適なプロセス結果を提供するために調整することができる幅広いパラメータと設定を備えています。さらに、350Dは完全に統合されたソフトウェアパッケージを提供しており、機器のすべてのパラメータと機能に簡単にアクセスできます。このソフトウェアは、ウェーハパターンの分析と比較、手動補正、ユーザー定義のローディングシーケンスと設定の保存にも使用できます。このシステムの堅牢な設計は、広範なパフォーマンス保証と業界をリードする3年間の保証によって裏付けられています。全体として、350 Dは、複数の業界にまたがる幅広いアプリケーションを探索したいお客様に理想的な選択肢です。正確で再現可能な埋め込みのための包括的な機能と設定、および効率的な監視とプロセス制御のための使いやすいソフトウェアを提供します。
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