中古 VARIAN 350D #293641024 を販売中
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VARIAN 350Dは、半導体ウェーハ加工用の高精度イオンインプラントおよびモニターです。多種多様な埋め込みパラメータ、高いプロセス精度、低コストの生産ニーズに対応して設計されています。VARIAN 350 Dは、VARIAN電子ビーム源と新しいタービンベースの加速器技術を備えたシングルエンドの4ゾーンのデュアルガン装置です。パルスX線イオン化により、イオン数を最適に制御できます。このシステムには、精密クローズドループ制御を備えた46チャンネルのアークコリメータと100 kV可変圧力銃が含まれています。インプランターのビームスポットサイズは、ニーズと基板に基づいて調整可能で、幅広いインプラント形状とビームプロファイルを作成できます。単位は柔軟性および容易な操作のために設計されています。マルチステーションインターフェイスにより、複数のプロセスを同時に制御でき、効率的なインプラント実行が可能です。このマシンは直感的なアラーム警告と、インプラント工程全体のプロセス条件とパラメータのリアルタイムのフィードバックを備えています。さらに、350Dは、すべてのビームエネルギー設定の最適化と精度を自動調整するための高度なビームエネルギー制御ツールを備えています。350 Dは最大ビーム電流が250 mA、最大電圧が75 kV、ビームエネルギー範囲が0。2 keV〜1。0 keVです。あらゆる用量で幅広い基質を埋め込むことができ、最大用量率は2000 neV/cm^2。s、最大ウェーハサイズは7インチです。このアセットは、高精度レベル、低スパッタ、および改善された均一性を提供します。さらに、高度なメンテナンスと診断機能により、モデルパフォーマンスの監視が可能になり、予防メンテナンス活動をサポートします。VARIAN 350Dは、信頼性が高く効率的なイオンインプランターとモニターです。その高精度レベルと高速インプラント時間により、困難な基板を処理し、長期的なコスト削減とプロセスの改善を可能にします。その高度な機能と複数の設定可能なパラメータにより、ユーザーは最新の半導体生産ニーズに対応するために必要な柔軟性を提供します。
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