中古 VARIAN 350D #293641021 を販売中

VARIAN 350Dは、半導体ウェーハ製造用に設計された高精度、高電流イオンインプラントおよびモニター装置です。このシステムは、1keVから500keVまでの広範囲のエネルギーで、ボロン、酸素、窒素を含むさまざまな種類のイオンを埋め込むことができます。このユニットには2つの独立したインプラントチャンバーが装備されており、複数のウェーハからの同時着床とデータ収集が可能です。VARIAN 350 Dの電子制御および監視機械には、さまざまな時間節約機能が装備されています。ビーム強度制御ツールは、最適化されたウェーハ性能のためにビーム電流を正確に調整しますが、高度なウェーハレベリングアセットは均一な埋め込みを保証します。統合欠陥検出モデルは、インプラント工程の欠陥を検出し、ウェーハを包装に送る前に是正措置を講じることができます。装置の真空システムには、高効率のターボ分子ポンプと調整可能なターボ真空チャンバーが含まれており、高レベルのプロセス再現性を可能にします。前真空、および裏面チャンバー圧力および温度は、必要な処理パラメータに従って最適に調整することができます。このユニットの2つの高効率10ゾーンるつぼは、最大10個のウェーハを同時に埋め込むことができます。フルオートのエンドポイント検出機は、チャンバー変数を正確に監視し、可能な限り最高のインプラント処理を保証します。350Dは、高品質で高性能な半導体デバイスを製造するために必要なレベルの精度と精度を提供します。このツールは、高スループットの生産を保証し、ダウンタイムを最小限に抑え、全体的なコストを削減します。あらゆる半導体製造事業での使用に最適な、信頼性の高い高性能アセットです。