中古 VARIAN 350D #293641019 を販売中

ID: 293641019
ウェーハサイズ: 5"
Ion implanter, 5".
VARIAN 350Dは、VARIAN Semiconductor Equipment Associatesが開発・製造したイオンインプラントおよびモニターです。高度な半導体デバイス製造プロセスのためのウェーハにイオンを埋め込むのに最適な高性能機器です。VARIAN 350 Dは、安定かつ精密なイオン配置のためのマルチビームインジェクタ、イオンインプラント工程を容易に最適化するためのイオンビームステアリングシステムなどの高度な機能を備えています。また、注入プロセス中にイオンビーム監視を可能にする同時モニターユニットと、注入プロセスを制御し、容易にするための高度なソフトウェアが含まれています。350Dが提供する高精度と再現性により、デバイスの製造に最適です。ウェーハに最大5本のビームを同時に埋め込むことができ、制御性と再現性を兼ね備えています。このマシンは他のシステムと統合して、ウェーハデバイスの完全な製造ソリューションを提供することもできます。350 Dの堅牢な設計により、長寿命を実現し、試験および測定プロセスは、動作中のあらゆる種類の問題を特定するように設計されています。このツールには、埋め込みプロセスから放射される放射線からユーザーを保護するための誘電バリアなどのさまざまな安全オプションもあります。VARIAN 350Dには、ユーザーが自分のアプリケーションに合わせてインプラント処理をカスタマイズできるようにするさまざまな設定とコントロールもあります。これには、ビームサイズの制御、現在の設定、焦点サイズの設定、加速度の設定が含まれます。このアセットには、実装プロセス中のイオンビームの不具合や変動を排除するパワースタビライジングモデルも搭載されています。結論として、VARIAN 350 Dは、ウェーハデバイス製造のための多数の高度な機能を提供する高性能イオンインプラントおよびモニター機器です。その高度な機能は、正確で反復可能なイオン注入と正確なビーム監視を提供し、ユーザーフレンドリーな操作、安全保護、および多数のカスタマイズオプションにより、あらゆるタイプのアプリケーションに理想的なシステムになります。
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