中古 VARIAN 350D #293595050 を販売中

VARIAN 350Dは、半導体デバイスの製造用に設計されたイオンインプラントおよびモニターです。半導体ウェーハのイオン注入と急速熱処理の両方に使用されます。VARIAN 350 Dは非常に幅広い機能を備えており、あらゆるタイプの半導体デバイスに最適な性能を提供できます。350Dは、高出力パルスイオン源とビーム電流と電圧の高精度制御を備えています。また、各種プラズマエッチングやクリーニングチャンバーを備えており、半導体ウェーハのすばやく洗浄およびエッチングに使用できます。また、350 Dには低エネルギーイオン爆撃源があり、半導体材料の構造の詳細なプロービングとイメージングが可能です。VARIAN 350Dのイメージング機能は、デバイス製造の全体的な品質を向上させるのに役立ちます。また、ユーザーがインプラント中にいつでもイオン注入プロセスを視覚的に観察することができるモニターシステムを備えています。モニターシステムはまた、ビーム電圧、電流、スキャン速度などの埋め込みパラメータの最適化を可能にします。VARIAN 350 Dは急速な熱処理が可能で、わずか数秒で900°Cの温度に達することができます。これにより、極め350D高精度な温度を必要とする製造プロセスに最適です。350 Dは複数種の着床も可能で、ホウ素やリンを半導体材料に正確に取り込むことができます。多様な機能と機能に加えて、VARIAN 350Dは高度な安全機能を備えています。それに電気衝撃および短絡からユーザーを保護するように設計されている多段安全システムがあります。これにより、VARIAN 350 Dは実験室や産業環境でも安全に使用できます。350Dは非常に汎用性が高く強力なイオンインプラントおよびモニターであり、半導体デバイスの製造に優れた結果を提供することができます。幅広い機能と機能を備えており、大規模半導体デバイスと小規模半導体デバイスの両方の製造に最適です。