中古 VARIAN 350D #191972 を販売中

VARIAN 350Dイオン注入器は、高精度で均一なイオン注入を製造するために設計された最先端の注入装置です。これは、最高のプロセス安定性と均一性を達成するためにビームを最適化する高精度のデュアル交差ビームラインを統合することによって行います。このシステムは、特殊な低消費電力散乱室と広いビーム受容器を組み合わせることで、ビームの安定性をさらに向上させます。VARIAN 350 Dは汎用性が高く、ユーザーに多くのカスタマイズオプションを提供します。ウェーハサイズとインプラント用量の広い範囲と互換性があります。その結果、パッシベーション、陽極酸化、ドーピングなど、さまざまなインプラント工程で構成することができます。さらに、このユニットは、埋め込まれている材料に応じて、高エネルギーまたは低エネルギーでイオンを埋め込むようにプログラムすることができます。350Dには、高度なモニターマシンも備えています。これには、ビーム電流、ビームモード、エネルギー、加速度などのツールのパラメータを測定および最適化する多数のセンサーが含まれます。これにより、ユーザーは注入プロセスがスムーズに実行されていることを確認し、任意の異常や変動に迅速に対応することができます。さらに、モニターアセットにリモートからアクセスできるため、ユーザーは世界中のどこからでもプロセスを監視できます。結論として、350 Dは高度で汎用性の高いイオンインプラントとモニターです。均一で精密なインプラントを製造することが可能であり、その洗練されたモニターモデルにより、ビームパラメータを迅速かつ効率的に最適化することができます。さらに、装置は信頼性が高く使いやすく、ユーザーに植え込みプロセスを完全に制御することができます。