中古 VARIAN 345 #9064802 を販売中

VARIAN 345は、最新の半導体、医療、および産業用イオン注入アプリケーションの最も要求の厳しい要件を満たすように設計された、電気駆動型イオン注入器およびモニターです。最先端の技術を使用して構築された345は、35mAまでの最大ビーム電流、400 keVまでのビームエネルギー、および0。2 µsの最小ビームドウェル時間を提供し、非常に正確で正確な原子単位の変調と制御を実現します。このマシンは、ビームの均一性を最大化し、スパッタ損傷の可能性からソースを保護しながら、より正確なイオンビームを生成する高度なソース中和装置で構築されています。このシステムは、高いレベルのイオン注入精度を確保しつつ、優れたソース寿命を提供します。さらに、バックサイドの中和が不要になり、ソースを介してビーム電流を直接制御することができ、バックサイドの中和に必要な調整が不要になり精度が向上します。また、イオンビームの正確な位置決めとキャプチャを確実にするために、ウェーハまたはサンプルの両側をスキャンすることができる高度なビームスキャン機を備えています。スキャンツールはまた、高精度のビームスポット包囲を提供し、ユーザーがイオン注入プロセスをさらにカスタマイズするためにビーム形状とビームサイズを迅速に調整することができるさまざまな制御オプションを提供します。VARIAN 345には高度なイオンビームモニターが付属しており、着床プロセス全体でイオン線量、エネルギー、位置を検出および監視することができます。モニターは、ホウ素、ヒ素、アンチモン、リン、亜鉛などのさまざまな種類のドーパントを検出し、正確な注入制御のための正確な線量レベルを報告することができます。最後に、345はデジタルモニタリングと制御アセットも備えており、ユーザーはグラフィカルユーザーインターフェイスを使用してインプラントのパラメータを表示、分析、構成することができます。このモデルはまた、簡単なトラブルシューティングのための内蔵診断を提供します。VARIAN 345は、最新のイオン注入アプリケーションの厳しい要件を満たすように設計された、汎用性の高い強力なイオン注入器およびモニターです。高度な技術と機能で構築された345は、今日市場で入手可能な最も信頼性が高く正確なイオン注入システムの1つです。