中古 VARIAN 300XP #9395137 を販売中
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ID: 9395137
ヴィンテージ: 1995
Ion implanter, 6"
PC Included
Pumps:
VARIAN Diffusion pump
(3) CT8 Cryo pumps
(3) VARIAN 2012 Oil pumps
Pressure:
Incoming CDA: 100 psi
N2: 20 psi
Gas: (4) Toxic MFC Controlled systems
Power supplies:
Extraction PS: GLASSMANN with external stack
Accel HV: GLASSMANN
Power: 208 VAC, 32 kVA
CE Marked
1995 vintage.
VARIAN 300XPは、半導体処理のための再現可能な埋め込みプロセスを提供するように設計された最先端のイオンインプラントおよびモニターです。VARIAN 300 XPは、卓越した信頼性、高いスループット、および優れた精度により、チップ製造における埋め込みニーズに最適です。300XPは強力な800 MeV、 5 mAとeqiupped来ます。これらの特徴は、均一なインプラントプロファイルと高精度を提供します。タイトなスポットサイズに対応し、ウェーハ全体のビームをスキャンする機能により、優れた再現性が得られます。この装置は、過酷な環境でもビーム出力を積極的に安定させるトリオマグネットデドリフトシステムを備えています。また、ヒューマンマシンインターフェイス(HMI)ディスプレイ、リアルタイムレシピ、およびユーザーがプログラム可能なエンドオブランレシピ制御を備えた高度な制御ユニットを誇っています。これにより、機械を簡単かつ正確に操作できます。300 XPプロセスモニタは、正確なパラメーター制御と長いインプラントを実現します。モニターの統合された分光計は、ウェハカメラとリアルタイムのエンドオブラン解析とともに、問題のインプラント工程の精度と詳細な検査を提供します。これに加えて、このツールは信じられないほどの安全性と環境機能を備えており、損傷や汚染のリスクなしに効率的な操作を可能にします。VARIAN 300XPは、チップファブリケーターが進化する業界の要求に対応できるように設計されています。これは、コンパクトな設計、低消費電力、ユーザーフレンドリーなパフォーマンスによって実現されます。その精度と再現性、オペレータインターフェースは、信頼性が高く効率的なイオンインプランターとモニターをお探しの方に最適です。
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