中古 VARIAN 300XP #9302574 を販売中

VARIAN 300XPは、半導体製造に使用される高精度イオンインプラントおよびモニターです。半導体成膜、イオン注入、ウェーハ洗浄など、さまざまな用途に正確かつ正確なビーム制御を提供します。VARIAN 300 XPは、安定した正確なビーム電流を使用して高分解能イオン注入を実現する直流（DC）ソースです。これにより、材料の大部分と小部分に小さなイオンを低バックグラウンドで埋め込むことができます。この装置はまた、高エネルギーイオンを埋め込むことができ、他のインプラントよりも有利です。300XPは、可変エネルギーイオン源も備えており、調整可能なエネルギー設定により、材料層の埋め込みに必要な精度と再現性を提供します。300 XPはガス抜き、蒸発、スパッタリング、基板エッチングが可能です。このシステムは、幅広い基板タイプに埋め込むための幅広い材料とイオン種を提供します。このユニットは、軸上のビームスキャン位置分解能が1。9 μ mであるため、基板上に小さな特徴を正確に配置することができます。また、データとアルゴリズムを格納するためのデジタルメモリストレージも備えています。このメモリストレージは、埋め込みプロセスで使用されるパラメータの保存を可能にします。この情報は、プラントのパフォーマンスを最適化し、アプリケーション内で再現性を提供するのに役立ちます。VARIAN 300XPには30インチモニターが搭載されており、着床プロセスの正確かつ詳細な分析が可能です。モニターには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスも含まれており、ユーザーは着床操作をすばやく見つけて監視することができます。このツールはまた、リモートモニタリングと制御機能をユーザーに提供し、移植中の異常を警告するだけでなく、遠隔地からパラメータを調整して監視する機能も提供します。VARIAN 300 XPは、高信頼性で汎用性の高いインプランタおよびモニタリング資産であり、さまざまなアプリケーションに高精度と再現性を提供します。半導体製造で使用される最も人気のある、成功した埋め込みシステムの1つです。