中古 VARIAN 300XP #9236850 を販売中

VARIAN 300XPイオンインプランターは、半導体ウェーハにイオンを埋め込むために使用される装置です。VARIAN 300 XPは、半導体ウェーハにGaとAsイオンの両方を埋め込むことができる生産グレードの埋め込みシステムです。イオン注入器とモニターは、連続流量イオン源を使用してウェーハにイオンを注入し、イオン注入器とモニターによって監視されます。300XPは、5keVから10MeVまでの幅広いエネルギーで特定のエネルギーでイオンを供給することができます。最小ビームスポットサイズは1。5mm、最大ビームスポットサイズは15mmです。また、薄膜エッチング用のプラズマ源と、金属膜を堆積させる真空熱蒸発源を有しています。300 XPには真空モニターとコントローラがあり、着床プロセスで使用されるガスの温度と圧力を監視し、安全なシステム動作を保証するために使用されます。また、イオンが半導体材料に与えるエネルギー量を測定するエネルギーモニターも備えています。VARIAN 300XPは、インプラントおよびeビームパラメータを変更するようにプログラムすることができます。これにより、ユーザーは自分の所望のプロセスのために植え込みをカスタマイズすることができます。ユーザーは、電流制限やエネルギー制御などの制御パラメータを設定することもできます。VARIAN 300 XPは信頼性が高く効率的なイオンインプランターです。それは良い収率と一貫したビームスポットサイズを持っています。その安全機能は、システムの安全な操作を保証し、調整可能なパラメータは、ユーザーが自分のニーズに応じて植え込みをカスタマイズすることができます。