中古 VARIAN 300XP #9232841 を販売中

VARIAN 300XPは、幅広い範囲、エネルギー、および電荷状態にわたるエネルギーイオンの線量を提供および監視するように設計された高性能イオンインプラントおよびモニターです。このシステムには、インプラント種の生産のための長さ100cm、直径2cmのイオン銃、イオンビームのエネルギーを制御するためのステップドビームライン、および線量およびビーム状態測定のための統合されたモニターチャンバーと検出器が含まれています。この銃は、オプションの高出力無線周波数（RF）加熱オプションを備えており、ガンエネルギーを増加させ、多軸コリメータを使用可能な広範囲の電流分布を生成します。ステップドビームラインは、インプラントビームをフルエネルギーから数百ボルトに制御するために、電気的微調整を備えた永久磁石光学を使用しており、マクロからサブミリメートルまで幅広いビームサイズを生成するために、一連の磁気および静電開口を備えています。統合されたモニターチャンバーは、静電気光学を使用してインプラントビームを通過する際に焦点を合わせ、2次電子放出、ファラデーカップ、およびガスイオン化チャンバーを組み合わせてビーム電流、線量率、総用量を監視します。チャンバーはモジュール式で、基板やウエハのさまざまなサイズに使用できます。このチャンバーは、解像度を犠牲にすることなく高電流密度を提供するように設計されており、最大200mmの単一のウエハサイズがサポートされています。モニターチャンバーには、インプラント工程の制御を支援する高度なソフトウェアパッケージが含まれており、ビームパラメータを手動で調整して目的の結果に合わせて調整することができます。システムには、ハードウェアとソフトウェアのインターロックを備えた包括的な安全機能も含まれており、常に安全な動作を保証します。VARIAN 300 XPは、高品質のイオンインプラントを製造するための信頼性と強力なツールであり、その統合されたモニタチャンバーとソフトウェアパッケージにより、プロセスの高精度な線量制御と監視に最適です。モジュラー設計により、大規模なインプラントと高精度の研究アプリケーションの両方に適していますが、安全機能と包括的なソフトウェアパッケージにより、安心して操作できます。