中古 VARIAN 300XP #9161390 を販売中

VARIAN 300XPは、イオンを非常に精密な制御で半導体基板に埋め込むことができる粒子注入器およびモニターです。マイクロチップの製造、セラミックおよび金属表面のエッチング、薄膜コーティングの製造など、幅広い用途に対応しています。VARIAN 300 XPは、さまざまな種類のイオンをさまざまなエネルギーや用量で埋め込むことができ、さまざまな用途に使用することができます。300XPは、粒子加速管、ターゲットチャンバー、および関連する測定および制御機能を備えたインプランターヘッドを含む物理的にコンパクトな装置です。粒子加速管は、イオンのビームを所定のエネルギーレベルに加速するように設計されています。ビームが加速されると、非対称磁場を使用して焦点を合わせ、ターゲットチャンバー内のターゲットを打ちます。イオンの用量とエネルギーの大きさを正確に調整することができ、用途の要件に応じて線量率を調整することもできます。300 XPのインプランターヘッドは、粒子ビームを標本に向ける責任があります。これは、イオンビームの形状と強度を制御する静電レンズのシリーズで構成されています。さらに、インプランターヘッドには顕微鏡とビームプロファイラも備えており、着床時の正確な位置決めが可能です。頭部の上流と下流の両方の領域の検出器は、粒子ビームの正確な監視を可能にします。イオンの投与率とエネルギーが決定されたら、着床は開始する準備ができています。用量は、デバイス上の埋め込みコントローラを介して設定され、試験片がシステムに挿入されます。コントローラーは標本に渡される線量の正確な制御を提供し、インプランターの頭部はビームの位置を制御します。注入プロセス中、ビームは検出器によってリアルタイムで監視され、プロセスに関するフィードバックを提供します。移植プロセスの終わりに、標本は単位から取り除かれ、それに渡される線量は移植の質を定めるために測定され、分析される。インプラントが正常に完了すると、VARIAN 300XPを使用して、ストリップやアニール操作などのさらなるポストインプラント処理を実行できます。VARIAN 300 XPは、高精度・高精度を実現する信頼性と汎用性に優れたインプラントおよびモニタリングマシンです。モジュラー設計により、幅広い用途で容易に使用でき、高いレベルの制御と柔軟性を提供します。幅広い機能と信頼性の高い性能を備えた300XPは、精度と効率性を備えたイオン注入操作を実行しようとする研究者や科学者にとって理想的な選択肢です。