中古 VARIAN 300XP #293830781 を販売中

VARIAN 300XPは、VARIAN Semiconductor Equipment Associatesが設計・製造した高精度イオンインプラントおよびモニターです。半導体製造および研究開発用途向けに設計されています。VARIAN 300 XPは、高信頼性、高性能インプランターであり、優れた線量均一性、安定性、および最大ビーム電流を提供します。300XPは、イオンのビームをターゲット材料に転送することによって動作します。イオンは高電圧電源によって加速され、その結果、特定のエネルギーと線量率のイオンのビームが得られます。次に、イオンビームをターゲット材料表面にスキャンし、イオンを材料に埋め込みます。ビームは、ターゲットのサイズ、物理的なマスクパターン、または使用中のソフトウェアプログラムによって決定されたスキャン領域を使用して、直線（直線）、ラスター、スパイラル、または前後パターンのいずれかで移動できます。300 XPは、所望の埋め込み深さに応じて、10〜150 keVの幅広いイオンエネルギーを提供するように構成することもできます。ビーム電流は、5〜50mAの範囲で調整して均一な線量分布を達成するか、ターゲット材料の吸収率の変化に対応することができます。VARIAN 300XPはまた、マスエネルギービニングやエネルギースペクトラムスキャンなどの他のイオンビーム修正技術も使用しており、これにより得られた線量はより均一になります。VARIAN 300 XPには、センシング電極を使用してイオンビームの正確な位置、電圧、電流を追跡する高度なモニタシステムが含まれています。この監視システムは、ビームの位置とビームの電流出力の正確な座標を常にチェックできるように、ビデオモニター上のオペレータにリアルタイムの視覚フィードバックを提供します。モニターシステムはまた、注入プロセス中に使用される線量率が常に許容範囲内に保たれることを保証します。300XPは、信頼性の高い高精度イオンインプランターであり、優れたレベルの均一性、安定性、最大ビーム電流を提供します。これにより、300 XPは半導体製造および研究開発アプリケーションに最適です。