中古 VARIAN 3000 #9211285 を販売中

VARIAN 3000は、半導体ウェーハへの信頼性と正確な埋め込みを提供するように設計されたイオンインプラントおよびモニター装置です。このシステムは、イオンビーム技術を使用して、制御されたドーパント要素をウェーハ基板に埋め込み、材料に望ましい電気特性を作り出します。この装置は精密な埋め込みパラメータを可能にし、半導体製造業界に最適です。3000はイオンビームインプランターとモニターユニットの2つのコンポーネントで構成されています。イオンビームインプランターは、イオンビームを生成し、ウェーハ表面に供給する責任があります。電磁石と一連のコリメータを組み合わせてビームの方向とサイズを制御します。ビームはウェーハ表面に集中し、精密に制御されたエネルギーレベルで加速されます。これにより、制御された量のドーパント元素を埋め込むことができ、材料特性を正確に制御することができます。VARIAN 3000モニターは、ビームパラメータを監視し、移植された領域をスキャンする責任があります。静電容量と電圧スキャンを使用して、ウェーハの埋め込み面積を測定し、所望の電気特性を確実に達成します。これにより、迅速かつ信頼性の高い埋め込みプロセスが可能になります。モニターには、注入パラメータを最適化し、繰り返し可能で一貫性のある結果を保証するコントローラも備えています。3000は、その効率と精度を向上させるために設計されたさまざまな機能を持っています。統合された冷却ツールにより、感度の高い回路への損傷を防ぎ、動作寿命を延ばし、長期間の使用を可能にします。資産も高度に構成可能です。それは特定の顧客の要求を満たすために合わせることができ、変数は結果を最大限に活用するためにすぐにそして容易に調節することができます。さらに、このモデルには、取り付けられたコンポーネントへの偶発的または危険な損傷を防ぐための包括的な安全機能が含まれています。全体として、VARIAN 3000は、信頼性と精度のために設計された高度なイオンビームインプラントおよびモニター装置です。その高度な機能と設定性により、半導体業界に最適であり、ウェーハ表面の正確かつ再現可能な埋め込みと監視を可能にします。