中古 VARIAN 250 Plus #293672534 を販売中

VARIAN 250 Plusは、半導体デバイス製造プロセスで使用するために設計された高度なイオンインプランターおよびモニター装置です。それは高い線量測定の正確さおよび注入の精密な制御のための調節可能な変数の広い範囲を特色にします。このシステムは、ホウ素、ヒ素、およびリン酸イオンを含む複数のイオンおよび材料を埋め込むことができる。250 Plusは、高エネルギーのビームラインと掃引の単軸を備えた静電アクセラレータユニットを使用しています。この技術は、各インプラントがウェーハの特定の領域に正確に集中していることを保証し、正確な線量測定と均一なインプラント深さを保証します。このマシンは、高電圧、軸外の三極線ビーム焦点を備えており、潜在的な粒子散乱を低減し、線量が均一に配信されることを保証します。このツールには、個々のイオン種の密度を瞬時に測定する高度なデジタルイオンセンサーも装備されています。この資産は、ソーダライムガラス、ゲルマニウム、ヒ素ガリウム、窒化チタンなど、さまざまな基材で動作することができます。さらに、モデルには数キロエレクトロンボルトから数百キロエレクトロンボルトまで、調整可能なイオンエネルギーレベルがあります。装置は、単一のサイクルで複数の着床ステップに使用することもできます。また、モニタリングしたイオンの電流と電圧を測定する高速コンピュータ制御モニタユニットを搭載し、着床条件の正確な監視と制御を可能にします。VARIAN 250 Plusモニターは、ビーム電流、エネルギー、傾斜角度を正確に制御することができ、着床電流と電圧は広い範囲で調整可能です。さらに、モニターは、改善されたデジタルインターフェイスを備えており、オペレータインターフェイスと通信効率を向上させることができます。250 Plusは、さまざまなデバイス製造プロセスで使用できる信頼性の高い高度な注入機です。それは高い線量測定の正確さ、調節可能な変数、多数のイオンインプラントおよび高速モニター用具を特色にします。この資産は、効率的な埋め込みと信頼性の高いデバイス製造のための信頼できるオプションです。