中古 VARIAN 180XP #9404418 を販売中

VARIAN 180XPは、半導体製造プロセスで使用されるイオンインプラントおよびモニターの一種です。基板の埋め込みを簡素化し、正確な制御を可能にする、信頼性の高いユーザーフレンドリーなデバイスです。これにより、ドーピング、沈着、ドーピング解析などの用途に最適です。VARIAN 180 XPは、イオン伝送を最適化するために積極的に最適化された電位であるファストイオンモニターを内蔵しています。また、電子レンズとイオンレンズを一体化することで、広範囲の電流に対してインプランタ性能を向上させます。これらのレンズを使用することにより、180XPは大小のスポットサイズの両方を達成することができます。さらに、インプラントのビームプロファイルによって形成されたパターンを正確に定義することができます。180 XPには高精度イオン輸送ユニットがあり、多種多様な露出とエネルギーで高品質のイオンを供給することができます。電子ビームエネルギーは10kVまで調節することができます。さらに、VARIAN 180XPにはバーストモード、反復インプラントモード、および目的の用量を堆積させるために最も適切なイオン種を選択する能力があります。これにより、正確な制御が必要なアプリケーションに理想的なオプションとなります。さらに、VARIAN 180 XPは、有害な大気から真空チャンバーを保護する高度なガス駆動ビームパネルを備えています。これにより、電子が目標領域を脱出し、望ましくない汚染を近くのコンポーネントに堆積させるのを防ぐことができます。このデバイスは、PCベースのインターフェイスと統合されており、ユーザーに制御、データ取得、およびデータ分析機能を提供します。また、グラフプログラム、パフォーマンス監視アプリケーション、印刷されたreportlessモードなどのサポートソフトウェアプログラムも付属しています。180XPは精密なだけでなく、低消費電力とメンテナンスも必要です。このデバイスは、動作中の機械的衝撃に耐えるように設計されており、幅広い安全機能を備えています。これにより、さまざまな半導体製造に理想的な選択肢となります。