中古 VARIAN 160XP #96723 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 96723
High current implanter
Standard Configuration (manual wafer loading)
(Qty 2) Sources
(Qty 2) Vaporizers
Spare defining plate
Spare manipulator
Dry Pump for Source RP Leybold D50
Edwards 200 for E/S
Disk 4" / 6" configured
4" and 6" available (spares)
Implant Monitor Software (150 recipes)
Record of resistivity and particle on request
Gasbox 4 lines / 3 in use (Argon / Boron / Phos)
Warehoused
1985 vintage.
VARIAN 160XPは、半導体業界で広く使用されているイオンインプラントおよびモニターです。VARIAN 160 XPは、さまざまなアプリケーションに使用できる高度で信頼性の高いインプランターです。これは、高度なパルス電力供給装置を備えており、ビーム電流と線量の優れた制御、および正確な線量の均一性を提供します。さらに、160XPには自動化されたウォブリング・システムがあり、堆積アプリケーションのためのより均一な層の厚さを作成するのに役立ちます。160 XPはまた、高度な粒子検出器、ビーム電流リミッター、衝突保護ユニットなど、多くの安全機能を備えています。これにより、高エネルギー粒子が使用されるアプリケーションでも、機械が安全かつ効果的に動作できるようになります。VARIAN 160XPには、ビームパラメータ、電流安定性、その他の操作の重要な側面を追跡する最先端のモニターも装備されており、プロセスが可能な限り効率的かつ正確であることを保証します。このモニターは、パルス電力供給機と組み合わせて、VARIAN 160 XPが比類のない線量制御と精度を提供することを可能にします。160XPは、RFレンズや静電ディフレクターなどの高度なイオン光学を使用してビームプロファイルを制御し、目的のターゲットでイオンを指示します。その統合されたソース磁石は、ビームを正確に操縦することができますが、高解像度のイメージングツールは、望ましいターゲットだけがヒットしていることを保証します。その多くの機能に加えて、160 XPも念頭に置いて便利に設計されています。操作は非常に簡単で、簡単なユーザーインターフェイスを備えています。VARIAN 160XPには、幅広い診断ツールとリモートパフォーマンスモニタリング機能も備わっています。VARIAN 160 XPは、優れた精度と精度を提供する堅牢で信頼性の高いイオンインプランターおよびモニターです。その高度な機能とユーザーフレンドリーなデザインは、さまざまな蒸着およびビームアプリケーションに最適です。その多くの安全機能により、安心して操作できます。
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