中古 VARIAN 160XP #9382645 を販売中

VARIAN 160XPは、半導体材料処理に特化したイオンインプラントおよびモニターです。インプラント用量と使用されるイオンの種類を正確に制御することができます。分解能・精度に優れ、多種多様なイオンを半導体材料に埋め込むことができます。VARIAN 160 XPは、ビーム強度とエネルギー設定の可変範囲を提供します。独自のデュアルビーム検出器を備えており、ビーム電流とサンプル位置の同時測定が可能です。これは、すべてのインプラントのパラメータの便利な制御と監視を提供します。このユニットは、インプラント全体のエネルギーと用量の両方を正確かつ包括的に測定します。160XPはまた、3次元コンピュータ制御プログラムを備えており、より広範囲の精密移植オプションを可能にします。これにより、ビーム電流、イオンタイプ、ピッチなどのパラメータを簡単に変更して、着床をすばやく変更できます。さらに、160 XPには最適な埋め込みパラメータ用のオートコントローラが内蔵されており、目的のアプリケーションに応じて調整することができます。VARIAN 160XPは使いやすくインタラクティブなグラフィカルユーザーインターフェースを備えているため、基本的な酸化物インプラントから複雑な化合物半導体インプラントまで、幅広いインプラント用途に最適です。ビーム電流や線量モニターなどの包括的な診断機能を備えており、インプラントのパラメータとインプラント品質の分析をこれまで以上に容易にします。VARIAN 160 XPは、1つの電子ビームで最大3つのインプラントを実行することができます。多用途な設計により、複数のイオン源を持つインプラント・システムに統合することもできます。このデバイスは柔軟性もあり、さまざまなインプラント条件を持つ複数のサンプルへのインプラントを可能にします。高度な電子部品と高度なソフトウェアアルゴリズムにより、160XPは非常に高い精度と精度を達成できます。また、迅速な応答時間があり、着床条件を監視することがはるかに効率的になります。160 XPは、高収量の埋め込みだけでなく、インプラントのパラメータを正確に制御する必要がある複雑なデバイスにも理想的な選択肢です。