中古 VARIAN 160XP #9275791 を販売中
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ID: 9275791
ヴィンテージ: 1992
High current ion implanter
(4) CTI-CRYOGENICS Compressors
CTI-CRYOGENICS Cryo-Torr-8 Chamber cryo pump
EDWARDS Source dry pump
VARIAN Diffusion beam-line dry pump
EDWARDS Rough pump
VECTOR TECHNOLOGY Scrubber
Power supply: 208 V, 5 Wires, 3 Phase
1992 vintage.
VARIAN 160XPは、イオンを基板に埋め込む信頼性の高い堅牢な手段をメーカーに提供するために設計されたハイエンドイオンインプラントおよびモニタリング装置です。これは、最大10kHzの埋め込み速度とビーム電流測定精度1％の完全に自動化されたコンピュータ制御システムです。これにより、半導体製造に必要な高精度と再現性に最適です。省スペース化を実現する軽量設計で、人間工学に基づいたワークステーションを採用し、最高の効率と快適性を実現しています。機械の中心の部品は注入の流れの大きさそして方向を正確に制御するために責任があるプレアンプ装置を含んでいます；ビームの埋め込みエネルギーを監視するために使用される高精度ビームエネルギーモニター。ツールから不要なイオンを除去するための専用のイオンフィルター。この資産全体は、放射線漏れのリスクを最小限に抑え、使用者にとって安全な労働環境を確保するように設計されています。このモデルはまた、傾斜角度を指定する機能、マルチステップインプラント処理、コンピューター制御用量調整など、さまざまな精密エンジニアリングオプションを提供しています。また、異なるタイプのイオンを切り替えることができ、複数の材料に着床することで、生産プロセスの制御と柔軟性を高めることができます。さらに、システムは高度なオートメーションで設計されているため、使いやすく、手動入力の必要性を減らすことができます。セキュリティを強化するために、VARIAN 160 XPには高度な安全プロトコルが付属しており、ユニットから不要な放射線がなく、汚染が最小限に抑えられています。さらに、このマシンには包括的な一連の診断とオンラインサポートが付属しているため、ユーザーはツールを監視し、必要に応じてサポートを受けることができます。全体として、160XPはハイエンドイオンインプラントおよびモニタリング資産であり、イオンを基板に埋め込むための信頼性と堅牢なプロセスをメーカーに提供します。このモデルは、さまざまな精密エンジニアリングオプションを提供し、高度なオートメーションで設計されているため、使いやすく、手動入力の必要性を減らすことができます。また、安全な作業環境を確保し、放射線漏れのリスクを低減するための高度な安全プロトコルを備えています。
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