中古 VARIAN 160XP #9143121 を販売中

VARIAN 160XPは、様々な材料のイオンを基材に埋め込むために使用されるイオンインプラントおよびモニター装置です。このシステムは、リチウム、ホウ素、リン、ヒ素などの材料をシリコン、ガリウム-ヒ素などの基板に埋め込むことができます。この単位は高用量インプランターであり、最大450K イオン/cm^2/secの線量率でインプラントすることができます。達成することができる最大流動性（イオン注入の総量）は6.5E13 イオン/cm^2です。また、ウエハートランスポートアセットとビーム調整モデルで構成されるビーム制御ツールを使用して、イオンビームのレイアウトを制御することもできます。ウェハ搬送装置は、ビーム調整システムによって移動および回転されるイオンの静止供給源を使用しています。VARIAN 160 XPのビーム調整ユニットは、最大+-50度の回転が可能で、ソースから最大40 cmの距離でビームをフォーカスして形状することができます。注入に加えて、機械には注入プロセスと注入された材料の品質を監視するために使用できるいくつかのモニターシステムも含まれています。このツールには、最大6。0nmの深度分解能を実現するフォトダイオードアレイ、イオン電流測定用ファラデーカップ、拡散係数測定用の二次イオン質量分析計（SIMS）などの検出器が含まれています。これらの検出器はすべて、高品質の着床を保証するために使用できます。160XPにはユーザーフレンドリーなインターフェースも含まれており、ユーザーは簡単にアセットを設定し、さまざまなパラメータを設定してさまざまな基板材料やイオンタイプの埋め込みパラメータを最適化することができます。このモデルには、機器の寿命を通じて適切な機能を保証するための非常によく文書化された校正およびメンテナンスマニュアルも含まれています。結論として、160 XPは、高品質のイオン注入システムを必要とするユーザーにとって優れた選択肢です。最大450K イオン/cm^2/secの注入線量を提供することができ、その注入能力は、異なる基材やイオンの種類に合わせて簡単に調整および最適化することができます。これには、埋め込み材料の埋め込み係数と拡散係数を監視するためのさまざまな検出器が含まれており、そのユーザーフレンドリーなインターフェースにより、ユニットの迅速な構成が可能です。したがって、VARIAN 160XPは、信頼性と高品質のイオンインプランターとモニタリングマシンを必要とするユーザーにとって理想的な選択肢です。