中古 VARIAN 1510 #9026280 を販売中

VARIAN 1510イオンインプランターは、主に半導体業界で使用される高精度・高性能機器で、電気特性を変化させるために半導体等にイオンを埋め込む装置です。また、保険業界や生化学などの他の産業用途でも使用されています。1510は高度のイオン注入の性能を提供します；これは、複数のインプラント角度と複数の電流密度を使用して、高精度でイオンを埋め込むように設計されています。その洗練されたソフトウェアとハードウェアシステムは、正確なインプラント品質とスループットを提供します。インプラントオペレーティングパラメータはXMLファイルに保存され、迅速かつ簡単なセットアップ変更を可能にします。緊急停止ボタン、インターロック、および安全アイコンは、ユーザーに余分な保護を提供します。VARIAN 1510は、イオンインプランタモジュール、イオン質量モニター、高電圧フィーダ、ロードロックユニット、マルチインジェクタヘッドを備えています。インプランタモジュールは、イオンをウェーハに埋め込む高電圧ビームを生成します。マスモニターはイオンを収集し、イオンのエネルギーと質量をマスターセットポイントに対して分析します。高電圧フィーダは、イオンの埋め込みに必要なビーム電流を提供します。ロードロックユニットは、チャンバー内の特定の雰囲気を維持し、外部からの汚染を防ぐように設計されています。マルチインジェクターヘッドは、最大4つの別々のビームをプログラムできます。1510イオン注入器とモニターは、さまざまな産業用途にイオンを注入するための信頼性と費用対効果の高いソリューションです。その精度と精度は、望ましい結果が達成されることを保証します。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、セットアップ時間を最小限に抑え、操作を容易にします。VARIAN 1510の高度な安全機能は、イオン注入に関連する危険からユーザーを保護するのに役立ちます。