中古 VARIAN 1500 #9404415 を販売中

VARIAN 1500は、最大かつ最も要求の厳しいイオン注入ニーズに対応した高電圧、高電流、高分解能イオンインプラントおよびモニター装置です。1500は7。51014 イオン/cm2までの線量に達することができ、広い範囲の線量範囲、および高い注入の正確さおよび反復性を提供します。これは、最大8インチのウェーハインプラントを実現するために、4"クワッドチャックと組み合わせることができる16ウェイウェーハチャックを備えています。それは汚染を避け、線量の均一性を減らすことができるビーム狭くなることを最小にするために非常に大きい区域の均一な電子ビームを特色にします。VARIAN 1500には、その能力を向上させるための多くの機能が含まれています。これには、ユーザーがシステムを制御、監視、診断できるデータ収集ソフトウェアが含まれます。ウェーハの位置と回転をリアルタイムで監視することで、正確なインプラントだけでなく、最大1024個のレシピを保存および実行することができます。導電性を向上させるための平面化モジュールと、最適なウェーハエッジトリミングのためのアクティブチップアウトガイダンスユニットを内蔵しています。モニターマシンはまた、ユーザーに注入時のサンプルの明確なビューを提供し、画像の上に線や円を描画してビームを正確に導く機能を提供します。1500は、VARIAN補助システムの選択と統合して、さらに操作を強化することができます。リアルタイムフィードバックツールは、標準システムよりも注入時のビームドリフトを検出して修正することができます。フォーカスチューニングアセットは、ビームエッジの焦点を微調整することができます。また、VARIAN Dose Corrector Systemと統合することで、動作条件に関係なく正確な線量配送を保証することができます。全体として、VARIAN 1500は大規模イオン注入ニーズに最適です。その強力なビーム、広い線量範囲、および統合された補助システムの範囲は、高度な半導体材料の生産、研究、開発に最適です。その使いやすさと柔軟な構成により、あらゆるイオン注入タスクに最適なパフォーマンスが保証されます。