中古 VARIAN 1216-04 #184083 を販売中

VARIAN 1216-04イオンインプランター&モニターは、イオンを基板に埋め込むために使用されるハイエンドイオンインプランターです。VARIAN Semiconductor Equipment、 Inc。によって製造され、半導体業界で最も人気のあるイオンインプラントの1つです。1216-04システムは、ホウ素、ヒ素、ガリウム、リンなどの攻撃性イオンを確実かつ正確に移植するために設計されています。ユニークなイオンビームソース構成を備えており、コンフォーマルインプラントと低スレッショルドインプラントを必要とするデバイスアプリケーションに不可欠な、均一で低エネルギービームを作成することができます。さらに、高効率運転により、高出力電流を可能にする高エネルギービームを生成し、タスクのニーズに応じて迅速に調整することができます。イオン注入機能に加えて、VARIAN 1216-04も統合監視機能を備えています。このモニターは、ビーム電流や線量などの着床パラメータを検出し、着床プロセス中のプロセスパラメータを監視および調整することができます。さらに、注入パラメータの潜在的なドリフトを検出し、注入プロセスの品質と精度を確保するための是正措置を講じることができます。1216-04は半導体産業の最先端システムの1つです。それは極端なイオン注入の適用のためにとりわけ設計され、材料の広い範囲に使用することができます。効率的なイオンビーム生成とプロセスモニタリング機能を備え、安定した電源供給により、安定した品質の結果が得られます。さらに、強力なデータ収集および分析機能により、迅速で信頼性の高いインプラントの最適化と結果を得ることができます。