中古 VARIAN 120XP #9226120 を販売中

VARIAN 120XPは、半導体生産環境で最大限の性能と精度を得るために設計されたイオンインプラントおよびモニターです。この装置は、VARIAN 110XPイオンインプランターの高度なバージョンです。それは2つの別々の振動ビームシステムによって均一で一貫したイオン注入を提供できます。VARIAN 120 XPは、3つのアクセラレータ、スコーピングプラットフォーム、2つのスキャン磁石、および統合されたRFバイアスソースを備えた2つのモジュラービームライン（MBL）を備えた信頼性と費用対効果の高いシステムです。最大1,000ボルト/秒の注入が可能で、直径200mmまでの半導体ウェーハおよび基板への注入に対応できます。120XPには直感的なオペレーティングメニューユニットがあり、統合されたマイクロプロセッサ制御を使用して、インプラントおよびモニタリングシステムの正確で信頼性の高い制御を提供します。機械には自動ビームアライメントツールと警告アラームとインターロックを備えた機能安全アセットが装備されています。120 XPのビーム電流をリアルタイムで監視し、エネルギーと現在の均一性を検証します。このモデルはまた、必要な外部冷却要件、安定化ガスの供給、および移植制御の安定性を向上させるための追加のサポートエレクトロニクスを提供します。この装置は、最大600個の並列インプラントのパラメトリックスキャンとエネルギースキャンの柔軟性をユーザーに提供するように設計されています。また、パラメトリックスキャンデータの自動解析とプロットのための高度なコンピュータインターフェイスとグラフィックス機能を備えています。また、VARIAN 120XPには環境センサーが内蔵されており、排ガスや汚染物質の存在などの環境変化に正確に対応するために、埋め込みパラメータを自動的に調整することができます。これにより、生産ラインでのユーザーの時間と労力を節約できます。全体として、VARIAN 120 XPは、最高品質の生産インプラントとより高い生産歩留まりのために設計された信頼性と費用対効果の高いデバイスです。包括的な設計、使いやすさ、高度なモニタリング機能を備えているため、最新の生産設備の不可欠な部分になることは間違いありません。