中古 VARIAN 120XP #293592859 を販売中
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VARIAN 120XPは、VARIAN Semiconductor Equipment Associates、 Inc。が開発したイオンインプラントおよびモニターです。装置はイオンインプランターとモニターの2つのコンポーネントで構成されています。イオンインプランターは、イオンのエネルギービームを使用して、材料の領域をターゲット基板に密集させます。ラスタースキャンパターンで動作し、非常に正確に制御された埋め込み領域を可能にします。モニターは、最適な結果を得るために、植え込みプロセスのデータを測定、記録、分析するように設計されています。VARIAN 120 XPは、半導体業界でのダイナミッククリティカルデバイスアプリケーション用に設計されています。大きな作業エリア、強力なビーム制御電極、高性能エッチングチャンバーなど、イオン注入に特に便利な機能を提供します。さらに、このシステムは、ホウ素、リン、ヒ素、およびアンチモンを含む様々なインプラント原料と互換性があります。また、最適化されたビーム拡散により、インプラントを大規模な基板に正確に配置することができます。120XPは、インプラントが正確かつ正確に実行されるようにするための高度な監視ユニットを備えています。モニター用とインプランター用の2つの別々のコントロールパネルが装備されており、着床時のビームのパラメータを測定します。これには、ビーム電流、エネルギー流動性、発生角度、インプラント工程中のエネルギー範囲などが含まれます。さらに、インプランターとモニターは、不規則性が観察された場合に自動的に停止するように設計されており、必要に応じて迅速かつ簡単に修正することができます。120 XPは高度な安全手順も利用しています。この機械は可能な限り安全であるように設計されており、工具を他の多くのイオンインプラントよりもはるかに遠くに維持するために必要なすべての人員が必要です。さらに、チャンバー自体は、危険な放射線から人員を保護するために、高放射線シールド材料から構築されています。全体として、VARIAN 120XPは半導体デバイスの製造に使用するために設計された高度で高性能なイオン注入資産です。高性能ビーム制御電極、広い作業エリア、高度なモニタリングモデルなど、高精度デバイスインプラントに特に便利な機能を多数備えています。また、安全性と効率性に優れた構造により、高品質な生産が望ましい選択肢となっています。
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