中古 VARIAN 120-10 #9269114 を販売中

VARIAN 120-10
ID: 9269114
ウェーハサイズ: 5"
High current ion implanter, 5".
VARIAN 120-10は、最先端のアークとスパッタリングイオンインプランターとモニターで、サンプル表面の材料の精密制御と選択的配置を可能にします。このマシンは、プロセス最適化のための正確な再現性と連続チューニング機能を備えた安定した堅牢なイオンソースを使用しています。高度なミクロンレベル制御により、120-10はイオンビームを使用して蒸着材料を正確に配置できます。VARIAN 120-10は、ビームセットポイントとインプラント条件の正確な制御に加えて、詳細なプロセスモニタリング機能も提供します。インプラント工程の濃度、速度、エネルギーを監視して、重要なパラメータが範囲内に留まることを確認し、堆積がどのように進行しているかについてフィードバックを提供するようにプログラムすることができます。この装置には高感度エネルギーアナライザが装備されており、ユーザーはインプラント材料のエネルギーを測定および制御し、その組成を決定することができます。システム内の8チャネルのダイレクトリーディングイオン電流モニタは、すべてのインプラントの精度を維持するのに理想的です。120-10はモジュラーチャンバー設計を採用しているため、基板サイズや移植する材料の種類において最大限の柔軟性が得られます。これはさらに、空気圧、三極管、マルチガンなど、さまざまなイオン源によってサポートされています。これにより、ユーザーは特定のプロセスに最適なソースを選択できます。VARIAN 120-10は、汎用性、モジュール性、使いやすさを考慮して設計されています。直感的なグラフィカルインターフェイスを提供し、ユーザーはリアルタイムでインプラント処理を監視できます。また、高度なプロセスレシピと組み込みのエキスパートマシンを備えており、プロセス制御の洞察を提供することができます。このツールの強力なインターフェイスとレポート機能により、プロセスエンジニアや品質管理の専門家にとって非常に貴重なツールとなります。全体として、120-10は高度で信頼性の高いイオン注入器であり、精密制御、再現性、およびプロセス監視を備えています。その汎用性と高度な機能は、半導体およびエレクトロニクス業界の専門家にとって非常に貴重なツールです。
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