中古 VARIAN 120-10 #9068892 を販売中

VARIAN 120-10イオン注入器とモニターは、幅広いイオン注入プロセスに対応する汎用性と信頼性の高いソリューションです。ユニークな振動フィード装置を備えており、インプラント試料上の均一なイオン分布と正確な線量供給を保証します。自己較正イオン源とビーム光学は、重元素の埋め込みを最適化し、最大120 keVのエネルギー範囲をカバーするように設計されています。モニターモジュールは、エネルギー、ビーム電流、ビーム変位、着床時間など、さまざまな着床パラメータに対応するための電源を幅広く提供します。また、すべての主要パラメータを正確に監視および制御するためのリモート診断制御システムも装備されています。120-10はまた、ガス圧力、温度、背景電圧、および磁場を調節するために使用できる統合プロセスユニットを備えています。この機械は総工程の効率を高め、スループットを改善するように設計されています。さらに、機械にはビーム電流モニターとプロファイルモニタツールが装備されており、着床プロセスのアライメントと最適化を支援します。VARIAN 120-10には、ユーザーを保護し、動作中の安全を確保するためのいくつかの安全機能もあります。ビームをシャットダウンし、ビームライン、シールド、およびその他のコンポーネントを過圧または急速な暴走状態から保護するために使用できる真空インターロックアセットを備えています。また、緊急時には非常停止ボタンが搭載されています。全体的に、120-10イオン注入器とモニターは、あらゆるイオン注入プロセスにとって信頼できるソリューションです。その多目的な設計と統合された安全機能は、ユーザーに信頼できる操作の自信を与えます。この機械は、120 keVまでの広範囲のエネルギーをカバーするように設計されており、正確な着床結果を保証します。さらに、ガス圧力、温度、背景電圧、および磁場を調節する能力は、埋め込みプロセスを最適化することができます。