中古 VARIAN 120-10 #293652761 を販売中
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VARIAN 120-10は、半導体デバイスにおける所望の電荷分布を正確かつ正確に制御するために使用される高度なイオンインプラントおよびモニター装置です。インプランターは、高精度のイオンビームで滑らかで安定した動作を特徴としています。統合されたモニターは、ビーム電流の正確な制御と移植の均一性を可能にします。このモデルは、プロセスの精度と再現性の観点から、チップメーカーにとって理想的なツールとなるさまざまな機能を備えています。これは、非常に正確な制御を可能にする単軸システムで構成されています。このマシンには最先端のデジタル信号プロセッサが搭載されており、範囲の正確で安定した定義と高度な診断と安全ユニットが保証されています。この機械は、適切なイオンがもはや埋め込まれていないことを保証します。さらに、オフアクシススキャン機能とオフラインラチェットチャンバーにより、プロセスの再現性を向上させました。この機械は、業界に類を見ない高精度の高均一インプラントを製造することが可能な、高コリメート化されたプロトンビームを使用しています。ビーム電流は、デジタル信号プロセッサを使用して最小電流レベルの0.01mAと最大10mAまで制御可能です。さらに、ビームは様々な角度を生成することができ、インプラントの深さの広い範囲だけでなく、最適化された粒子範囲を持っています。120-10はまた、内蔵の診断機能と安全機能を含む洗練されたユーザーインターフェイスを備えています。これにより、ユーザーはツールを監視し、適切な機能を確保することができます。さらに、ユーザーインターフェイスには、ユーザーがインプラント処理を管理し、必要に応じて変更を行うのに役立つリアルタイムのフィードバック資産が含まれています。このモデルには、プロセスの最適化を可能にするさまざまなソフトウェアオプションと、それぞれの実行が所望の埋め込みの均一性で完了することを保証する精度モードも含まれています。全体的に、VARIAN 120-10は、メーカーが均一で正確なインプラントを得るのを助けるように設計されたさまざまな機能を備えた高度なイオンインプラントおよびモニター装置です。インテグレーテッドモニターはインプラント工程を正確に制御し、ユーザーインターフェイスは操作の容易さと最大のプロセス効率を保証します。チップメーキングプロセスを改善できる高度なシステムを探しているメーカーは、120-10を検討する必要があります。
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