中古 VARIAN 1000 #9404414 を販売中

VARIAN 1000は、半導体製造に使用されるイオンインプラントおよびモニターの一種です。シリコンウェーハ基板の表面にイオン種を埋め込むために使用され、望ましい電気特性を作り出します。1000は、放射、DC、パルスイオン注入器で、大きなプロセスチャンバーと多段加速度を備えています。VARIAN 1000で使用されるイオン源はフランク・ボデスハイム型であり、最小線幅1umのウェーハに不純物を導入することができます。配達の間に、ビームは操縦され、形づけられます；1000は同一のウエハランの整列スキャン、イオン変調、エネルギー変調、および総イオン電流をすべてサポートします。VARIAN 1000は、300°Cまでの温度で高いビーム電流、質量比への高い充電、および長期動作を提供するように設計されています。インプランターには低温冷却装置があり、ソースとターゲットの効率的な操作を可能にします。これは熱損傷からウェーハ材料を保護するのに役立ちます。そのコンピュータ制御プロセスは、Windowsベースのインターフェイスを介して監視され、ユーザーフレンドリーなセットアップ、制御、データ収集ツールがあります。画像解析・制御システムを採用し、処理結果のリアルタイム監視が可能で、取得した画像の最大解像度は0。1ミクロンに達します。1000には、ビーム電流、位置、アスペクト比を正確に測定するためのビームデジタルモニタリングユニットも含まれています。これはダブルエミッタンスモニター機によって行われ、フルビームオーバーラップのポイントと最小ビーム強度の位置にモニターが配置されます。全体として、VARIAN 1000は、高精細ビデオカメラと広範なデータ収集機能を備えた産業規模の生産に適した高度なイオンインプラントおよびモニターです。品質やパフォーマンスを犠牲にすることなく、チップ製造プロセスにおける企業の時間とリソースを節約できます。