中古 ULVAC IH-860 #9068889 を販売中

ULVAC IH-860
ID: 9068889
ウェーハサイズ: 6"
High current ion implanter, 6".
ULVAC IH-860は最先端のイオン注入器およびモニターです。さまざまな基板上に正確に定義されたイオンを迅速かつ正確に付加するように特別に設計された、燃費に優れたデバイスです。IH-860の速度と精度により、プロトタイプとボリュームアプリケーションの両方の生産実行に最適です。パルス制御用の高解像度ビーム電流モニタと、イオン注入が容易で便利なエキスパート機能を備えています。ULVAC IH-860は、高度なビーム輸送装置を使用して、幅広い注入を可能にします。このシステムには、イオンビームスキャン用の2軸が含まれており、高精度なスポットサイズで高速かつアプローチを提供できます。また、一定で均一な着床条件のためのHVウィンドウが装備されています。さらに、IH-860には多数の統合安全機能、ガスを除去するための脱気装置、および容易な材料の積載のための漏斗が組み込まれています。ULVAC IH-860は、高度でありながら簡単なコントロールユニットを採用しています。操作をシンプルにするだけでなく、過去の実験データを保存する機能も提供します。さらに、高度なメンテナンスおよび診断プロトコルにより、定期的なメンテナンスまたは機械のクラッシュの必要性を最小限に抑えます。これにより、ツールの作業時間が効率化されます。さらに、高度な省電力技術により、IH-860は高いエネルギー効率を実現しています。ULVAC IH-860は、幅広い製品を作成、維持、改善するための理想的なツールです。それは信頼性が高く、正確であり、植え込みあたりの時間を10分以内に劇的に短縮することができます。スループットとパフォーマンスを高めるために設計されており、さまざまな独自の機能を備えているため、正確で正確なイオン注入を必要とするアプリケーションに最適です。
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