中古 ULVAC IH-860 #293763345 を販売中

ULVAC IH-860は、複数のドーピング操作を処理するために設計されたイオンインプランターおよびモニターです。様々な半導体基板のイオン注入業務を行うことができます。統合された高エネルギーイオン源と広範囲イオンビームにより、プロセスの柔軟性と歩留まりが向上します。IH-860のエネルギー調節可能なイオン源は、幅広いイオン種をサポートし、オペレータが異なる種をすばやく切り替えることができます。これにより、様々な基材に対して効率的かつ正確なドーピングを実現することができます。イオンビームからの広いカバレッジ領域と高エネルギーイオン源は、ドーパントの均一な分布を保証します。プロセス効率の向上に加えて、ULVAC IH-860は信頼性の高いパフォーマンスとメンテナンスコストの削減を実現します。直感的なシステムモニターを備えており、イオン注入器の性能とその関連コンポーネントに関する詳細な情報を提供します。これにより、オペレータはイオンソースまたはそのコンポーネントの潜在的な問題をすばやく特定して解決できます。IH-860はまた統合された安全連結システムおよび緊急停止ボタンのようなさまざまな機能安全特徴を、統合します。この機械はISO 9001認証を取得しており、最高品質管理基準を満たしていることを示しています。ULVAC IH-860は、デバイス製造プロセスにおける精密ドーパント投与量と均一な分布の実行に最適です。この高度なイオンインプランタとモニタにより、最高レベルの安全性と品質保証を維持しながら、スループットと全体的な効率を向上させることでコストを削減できます。