中古 ULVAC IDZ-8801 #154974 を販売中

ULVAC IDZ-8801はイオン注入器およびモニター装置です。ホウ素、リン、ヒ素、アンチモン、アルミニウムなど様々なイオンを埋め込むために使用できる多機能イオンインプラントです。このシステムは、充電汚染を低減するためにチャンバーバッフルユニットを備えた大型インプラントチャンバーを備えています。これにより、厚さの均一性と用量の設定の両方において、高精度で正確なイオン注入が可能になります。重イオン型インプラントに対応するように設計されており、56アムまでの質量範囲があります。インプランターには、インプラントチャンバー内に設置されたダイレクトビュー光学装置も備えており、インプラントプロファイルのリアルタイム制御を容易にします。IDZ-8801は、インプラント用量、均一性、およびプロファイルのリアルタイム測定を可能にする内蔵の監視ツールを備えています。このアセットには、イオンから生成された二次電子を測定する高感度のX線蛍光検出器と、正確な線量制御を提供するために不可欠なビーム電流を測定するファラデーカップが含まれています。また、インプラント位置のパフォーマンスと相対線量分布を監視するための高倍率で放出されたイオンの視覚的画像を提供し、インプラントが仕様内で実行されることを確認します。ULVAC IDZ-8801の先進的なPFG （Plasma Focus Ion Gun）光学系を使用すると、インプラントのプロファイルを変更してターゲット形状を制御できます。このモデルは、低インプラント角度とコンピュータ化されたブロッキング装置から利益を得て、スループットを最大化し、サービスの歩留まりを向上させます。イオンインプランターとモニターシステムは、高度な統合されたエンドオブランモニターも備えており、インプラントが仕様内に配置され、ユニットのスループットと歩留まりを最適化します。さらに、IDZ-8801は欠陥を検出する電子ガラス検出器を備えています。電子ガラス検出器は、電子ビームを使用して、高分解能で正確な欠陥を検出します。ULVAC IDZ-8801は、テープの配置とインプラントのプロファイルの選択という点で高い柔軟性を提供し、最終製品に対するより大きな制御を提供します。この機械はまた容易な機械操作および遠隔制御可能のための簡単なソフトウェア操作を特色にします。さらに、このツールは、安全レールや真空インターロックなどの包括的な安全機能を提供します。さらに、警報ドアやエンクロージャ保護などの追加の安全機能は、最高レベルの安全性を確保するのに役立ちます。