中古 ULVAC IDZ-8001 #9284131 を販売中

ULVAC IDZ-8001 Ion Implanter&Monitorは、さまざまな基板に正確なイオン流動性を提供するように設計された高度なイオン注入装置です。このシステムは、高解像度で超精密なビーム電流および電圧制御ユニットを使用して、ビームパラメータを連続的かつ最適に制御し、優れた埋め込み品質を提供します。強力なIDZ-8001プラットフォームは、イオンソースとビーム制御ユニットの2つの主要な要素で構成されています。イオン源は、高貴なガスイオンと希少なガスイオンの両方の効率的で信頼性の高いイオン化を提供するために利用可能な最先端のイオン化法を利用するように設計されています。イオン源はまた、イオン注入の最大効率を確保するために統合された中和チャンバーを備えています。イオン源で使用される高度なイオン化法により、幅広い埋め込みプロセスパラメータを最適化し、プロセスの柔軟性と一貫性を向上させます。ULVAC IDZ-8001のビーム制御ユニットは、着床時のビームパラメータの正確かつ安定した監視を提供します。その高度な制御アルゴリズムは、効率的な埋め込みを保証し、エラーの影響を最小限に抑えます。このマシンには、強力で柔軟なインターロックツールが装備されています。このアセットにより、ユーザーは予期しない埋め込み条件による損傷から繊細な基板を保護することができます。さらに、インターロックモデルは、イオン流動性とエネルギーを常に監視し、注入精度を最大限に高める機能を備えています。IDZ-8001はまた、最適なビーム精度のために独自の高精度ビーム存在検出器を使用しています。この検出器は、サブミクロン分解能でX方向とY方向のイオンビームの存在を検出することができます。ビーム存在検出器を使用すると、ビームパラメータを迅速かつ正確に調整し、物理的および電気的な形態の両方で最適な埋め込みを行うことができます。ULVAC IDZ-8001は、要求の厳しいアプリケーション向けに設計された非常に強力で精密なイオンインプランター&モニターです。その強力なイオン源、ビーム制御ユニット、インターロックシステム、ビーム存在検出器は、着床プロセス中に最大の効率、精度、柔軟性を保証します。高度な制御アルゴリズムとインターロックユニットは、繊細な基板の最大限の安全性を確保し、比類のない埋め込み精度を提供します。