中古 SUMITOMO SWA-90GD #9210360 を販売中

SUMITOMO SWA-90GDは、信頼性が高く、汎用性の高いイオンインプラントとモニターです。半導体業界向けに低エネルギーと高エネルギーの両方のインプラント用途のニーズを満たすように設計されています。高度なアルゴリズム、最適化された構成、新しい排出源テクノロジーにより、SWA-90GDは優れたインプラント・ソリューションを提供します。住友SWA-90GDは、最新鋭のビーム制御装置を搭載し、優れたビームプロファイル予測と高精度なモニタリングを提供します。デュアルジェットイオン光学を搭載しており、モノビームまたはマルチビーム構成を選択して幅広いエネルギー分布をスキャンできます。さらに、デジタルアナログコンバータを搭載し、高速かつ正確な信号処理を実現しています。統合されたイオン源は、BN（ホウ素）、P（リン）、As（ヒ素）、Ge（ゲルマニウム）、Ga（ガリウム）、Cs（セシウム）など、幅広いイオンを供給することができます。さらに、SWA-90GDは最大4つのソースガンを同時に制御することができます。また、適応可能なイオン注入面を備えており、統合されたサンプルホルダーの裏面の調整と移動を可能にします。住友SWA-90GDには様々なモニタリング機能があり、最適なインプラント性能を実現するリアルタイムデータを提供しています。それは精密な制御のために十分に調節可能である作り付けの力および温度の監視を含んでいます。このモデルは、Enhanced Implant Geometry （EIG） Monitoring Unitもサポートしており、アクティブなイオン注入領域の包括的なビューをユーザーに提供します。さらに、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI） SWA-90GD付属しています。このユーザーフレンドリーなインターフェイスは、プログラミングと操作を簡素化し、さまざまな操作間のスムーズな移行を可能にします。さらに、SUMITOMO SWA-90GDはさまざまなサードパーティ製ソフトウェアパッケージと互換性があり、既存の本番環境にシームレスに統合できます。全体として、SWA-90GDは高度なイオン注入器およびモニタリングマシンであり、多くの低エネルギーおよび高エネルギー注入アプリケーションに適しています。調節可能なイオン源、多彩なビーム制御ツール、EIG監視資産などの最先端の機能を備えた住友SWA-90GDは、優れたインプラント性能を実現する業界トップクラスのツールです。