中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII-LE #293746345 を販売中
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ID: 293746345
High current ion implanter
CTI-CRYOGENICS Cryo-10 Cryopump
SUZUKI SHOKAN Compressor
RWA-012J-BE07CBD Chiller
Moving type: Disk type
End station
Analyzer
Power rack
Source terminal
Chiller
Compressor
Transformer
Power box
Disk flow switch panel
Main water panel
Controller
Power supply
Helium Hose
Cable
Utility rack
Hood cover
Accessories
Gas box
(3) SMIF
Bottom plate
Monitor rack
PC.
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV GSDII-LE （GSD3-LE）は、住友電気株式会社とイートン株式会社が最近開発した先進イオンインプランター&モニターです。この装置は、高精度で低レベルの着床プロセスに最適です。マルチグリッド組成加速、ビーム制御、最先端のイオン光学などの高度な技術を利用しています。GSD3-LEの汎用性により、SEMI仕様プロファイル、インプラント工程の開発と生産、高度なインプラント工程制御、超精密インプラントなど、多くのアプリケーションに最適です。特別に設計されたイオン源を利用すると、30KVまでのビームエネルギーを実現できます。また、ArまたはSF6ガスを使用してソースのメンテナンスのダウンタイムを最小限に抑えることができます。このGSD3-LEにより、低レベルの精度と信頼性の高いビーム制御を備えた幅広いインプラントが可能になります。独自のレーザー伝送源は、ハイエンドの蒸着速度を提供し、スキャン範囲全体にわたってビームエネルギーと方向を正確に制御します。マルチグリッド加速部は安定した線形インプラントプロファイルを提供し、高品質のインプラントを保証します。統合された設備制御システムにより、インプラント工程全体を簡単かつシームレスにプログラム可能に制御できます。ウェーハの自動ホールドオフ機能を備えた各インプラントの高精度ビーム電流モニタリングにより、プロセスの変動を低減できます。また、GSD3-LEはビーム診断機能を備えており、エンジニアや技術者は、中間プロセス中のビームの正確な挙動を観察、研究、分析することができます。要約すると、SEN NV GSDIII-LEは、高精度、低レベルの埋め込みプロセスに適した高度なイオンインプランター&モニタです。その高度な技術と設計により、正確なビーム制御と高精度のインプラント・プロファイルを実現します。統合された設備制御システムとビーム診断機能により、インプラントのプロセス開発と生産に信頼性が高く使いやすいプラットフォームを提供します。
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