中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90 #9181903 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90イオンインプランターは、幅広いイオンを正確な深さと幅のプロファイルで基板に正確に埋め込むために使用される高性能デバイスです。これは、シリコン、ゲルマニウム、ヒ素ガリウム、ダイヤモンドなどの基板の範囲で動作するように設計されています。SEN NV GSDIII-90は陽子からリチウムまで幅広いイオン種に対応できます。また、異なる温度でイオンを埋め込むことも可能です。このインプランターは、2段の機械式真空減速器を備えた単一のビームライン真空装置を使用しています。この減速機は、イオンが制御された速度でシステムを通過することを可能にし、またそれらがターゲット基板に広がるのを防ぎます。住友EATON NOVA NV GSDII 90は、高精度なフォーカシングユニットとスキャンユニットを備えています。この機械は、装置が着床プロセス全体にわたって定常状態のビーム強度と焦点を維持することを可能にします。このツールはまた、均一なイオン注入深度プロファイルを提供することができ、またウェーハ面に均一な用量の平らな基板を加工することができます。SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII-90は、精度を高めるイオン注入監視アセットを搭載しています。モデルの操作は、イオン電流、電圧、ドウェル時間、ビームエネルギーなどの動作パラメータを追跡するオンボードコンピュータによって監視されます。このモニタリング装置は、ウェーハの品質とプロセスの歩留まりに影響を与える前に、インプランタ関連の異常を検出および分離するのにも役立ちます。コンピュータを使用して、さらに分析するための埋め込みデータを保存することもできます。住友EATON NOVA NV GSDIII-90は、信頼性の高い自己モニタリングイオンインプランター&モニターです。高い放射能による事故や故障のリスクを低減する安全メカニズムを備えています。このデバイスは、安全性、正確性、信頼性を徹底的にテストし、一貫して高品質の結果を提供できるようにしています。