中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90 #9157656 を販売中

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90
ID: 9157656
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
High current ion implanter, 8" 1995 vintage.
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90はイオン化された粒子のための信頼でき、有効な加速源を提供するように設計されている高度のイオン注入器およびモニターです。標準イオン注入からプラズマフォーカシングイオンビーム(PFIB)などの高度なアプリケーションまで、さまざまな用途に高精度かつ高精度なビーム制御を提供できます。SEN NV GSDIII-90は、高性能レベルを実現するために、磁石、RFジェネレータ、ビーム制御などの高度な機能を備えています。集積磁石は、発生する粒子のビームに必要な加速度を提供する役割を担い、RF発電機は粒子のイオン化に必要な電圧と電流を供給することができます。ビーム制御システムは、ビームの特性を制御し、適切に集中して指示されることを保証する責任があります。これらの機能に加えて、SUMITOMO EATON NOVA NV GSDII 90には、いくつかの追加の安全性と精度向上機能が組み込まれています。統合されたモニタは、ユニットの動作パラメータを継続的に監視し、偏差が検出された場合にオペレータに警告することができます。さらに、SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90には高度なパーティクルトラッピングとリダイレクションシステムが搭載されており、粒子が入らない場所に侵入するのを防ぎ、ビームの方向を変更して精度を高めることができます。NV GSDIII 90は、今日市場で入手可能な最も先進的なイオン注入およびモニターシステムの1つと広く考えられています。その優れた性能と精度により、集積回路の製造、ナノリソグラフィー、粒子ビーム療法など、さまざまな用途に最適です。その結果、多くの有力な研究機関や医療機関が、住友イートンノバNV GSDIII-90をそれぞれの事業に導入することを決定しました。
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